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ALD上下料机

产品特点

最高产能可达到16000pcs/h

可根据客户需求进行配置

特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿，陶瓷侧齿，减少硅片划伤，保证设备的稳定性

ALD上下料机技术参数
技术参数	相关参数
产能	8000/11000/16000 pcs/h
金属舟规格	200槽，节距2.38mm
硅片尺寸	166mm-210mm
适用花篮	100 casstte
碎片率	≤0.03%
开机率	≥98%
耗气量	1000L/min
具体参数如有变动，本公司不另行通知！

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