TOPCon高效电池管式PECVD设备
核心技术
非晶硅在高温晶化时脱膜抑制技术
低粉尘工艺技术
沉积薄膜过程电场阻抗系统稳态控制技术
大面积均匀性控制技术
等离子体脉冲氧化法制备超薄氧化硅技术
“氧化硅+原位掺杂非晶硅”二合一工艺技术
相关描述
金辰股份与中科院宁波材料所展开战略合作，探索出用管式PECVD装备实现TOPCon光伏电池核心材料“超薄氧化硅+原位掺杂非晶硅”的制备，同时在抑制非晶硅爆膜、防止电场导通、实现高效电池全工艺集成等关键技术方面取得了重大突破，推出了简化工艺流程解决方案。
等离子体增强型化学气象沉积（PECVD）技术
依靠等离子电场硅烷解离，沉膜速率快，掺杂效率高
定向沉积，绕镀轻微，成品率高
低温工艺，腐蚀性附产物少，耗材成本低
