刻蚀上下料机

产品特点

更高产能可达到8000pcs/h

可根据客户需求选配在线隐裂检测

特制精密陶瓷吸盘,减少硅片划伤

技术参数

技术参数相关参数
产能4000/6500/8000 pcs/h
硅片列数5/8/10
硅片尺寸 166mm-210mm
适用花篮100 cassette
碎片率≤0.03%
开机率≥98%
耗气量200L/min
具体参数如有变动,本公司不另行通知!
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